我們統(tǒng)計了國內(nèi)主要晶圓代工廠（中芯國際+華虹半導體）的清洗公開招標情況，2018 年以 來國產(chǎn)清洗設備占比快速提升。2021 年兩晶圓廠公開招標清洗設備共 44 臺，其中 22 臺為 國產(chǎn)設備，國產(chǎn)化進展順利。
較高的國產(chǎn)化率得益于國內(nèi)有眾多廠商在濕法領域進行了布局。至純科技、北方華創(chuàng)、盛美 半導體、芯源微都擁有各自的濕法產(chǎn)品線。至純能提供到 28 納米節(jié)點全部濕法工藝，主要 單片清洗產(chǎn)品 S3XX 系列可搭載 12 個腔體，產(chǎn)能最高可達 590WPH，18 腔產(chǎn)品亦在研發(fā) 中。盛美半導體主要產(chǎn)品為單片 SAPS 兆聲波清洗設備、單片 TEBO 兆聲波清洗設備、單片 背面清洗設備等。北方華創(chuàng)收購美國半導體設備生產(chǎn)商 Akrion Systems LLC 之后主要產(chǎn)品 為單片及槽式清洗設備。芯源微則在單片濕法設備有較廣泛的覆蓋，清洗、去膠、刻蝕均有 布局。
根據(jù) VLSI 提供的行業(yè)數(shù)據(jù)，中國大區(qū)（含中國臺灣地區(qū)）前道單片式清洗設備銷售額已經(jīng) 由 2016 年的 6.14 億美元增長至 2018 年的 7.54 億美元，年均復合增長率達 10.86%，預計 2023 年將將達到 8.26 億美元。
中芯國際、等多個客戶處通過工藝驗證，并已獲得 國內(nèi)多家 Fab 廠商的批量重復訂單。公司生產(chǎn)的后道涂膠顯影設備與單片式濕法設備，已經(jīng) 從先進封裝領域、LED 領域拓展到 MEMS、化合物、功率器件、特種工藝等領域，作為主流 機型應用于臺積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌、中芯紹興、中芯寧波等國內(nèi)一線大廠。近年來，通過借鑒前道產(chǎn)品的先進設計 部分選用日本成熟的技術部件，理念和技術，對后道設備、小尺寸設備的架構進行優(yōu)化，提升了工藝水平和產(chǎn)品產(chǎn)能。應用 了前道先進設計理念及技術的后道產(chǎn)品產(chǎn)線應用，目前已經(jīng)成 為客戶端的主力量產(chǎn)設備。
以下為半導體濕法制程工藝部件 的日系高質(zhì)量產(chǎn)品，深圳瑞思昌科技，主要代理日系濕法刻蝕關鍵性零部件，助力國內(nèi)濕法刻蝕更快更好的發(fā)展
1.PFA超聲波渦街流量計
2.氮氣（清潔型）加熱器
3.兆聲波發(fā)生器&振蕩板
4.在線化學品濃度計
5.化學品循環(huán)恒溫器
6.高純PFA加熱器
7.高純石英加熱器
8.超純水加熱裝備
9.在線厚度檢測裝備
10.馬蘭戈尼IPA干燥機
